1、 熟悉8英寸ETCH/DRIE機(jī)臺(tái)性能、參數(shù)等,能夠獨(dú)立進(jìn)行機(jī)臺(tái)的日常點(diǎn)檢,撰寫(xiě)和維護(hù)生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)流程、操作ETCH/DRIE工藝相關(guān)量測(cè)機(jī)臺(tái);
2、 熟練掌握ETCH/DRIE工藝,維護(hù)inline/offline SPC以滿(mǎn)足生產(chǎn)和產(chǎn)品需求; 保障工序工藝開(kāi)發(fā)參數(shù)穩(wěn)定。
3、 ETCH/DRIE新工藝開(kāi)發(fā)、調(diào)試,一般工藝問(wèn)題解決、改善,根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行Recipe修改和優(yōu)化;
4、 能夠處理日常常見(jiàn)機(jī)臺(tái)異常狀況, 具備良好的安全意識(shí),6S意識(shí),并安全處理產(chǎn)品;
5、 與PIE工程師、設(shè)備工程師及制造部合作解決生產(chǎn)中遇到的問(wèn)題,有良好的團(tuán)隊(duì)合作精神;
6、 工藝資料、項(xiàng)目文檔、報(bào)告等體系文件的編制與修改;
完成領(lǐng)導(dǎo)安排的其他工作 。
經(jīng)驗(yàn)要求:
3年以上半導(dǎo)體行業(yè)ETCH/DRIE制程工作經(jīng)驗(yàn);有MEMS傳感器深槽、深孔、梳齒、背腔等結(jié)構(gòu)刻蝕工藝經(jīng)驗(yàn)優(yōu)先。
其他要求:
1、 有3年以上半導(dǎo)體Fab中ETCH工藝制程工作經(jīng)驗(yàn);
2、 熟悉ETCH工藝設(shè)計(jì)評(píng)估及現(xiàn)場(chǎng)管理經(jīng)驗(yàn);
3、 熟悉SPTS、中微、LAM等刻蝕設(shè)備;
4、 能熟練應(yīng)用Word、Excel、PPT等辦公軟件;具有一定的寫(xiě)作能力,能熟練輸出工作總結(jié)、匯報(bào)、案例等文檔;
5、 英語(yǔ)四級(jí)及以上,聽(tīng)讀寫(xiě)流暢,沒(méi)有困難;
能承受一定的工作壓力,工作認(rèn)真細(xì)致,有創(chuàng)新意識(shí),有團(tuán)隊(duì)精神。
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中國(guó)科學(xué)院微電子研究所北京 - 海淀
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