北京爍科中科信電子裝備有限公司成立于2019年6月，以中國電科48所和北京中科信離子注入機業(yè)務(wù)戰(zhàn)略整合而成，是國內(nèi)集成電路高端工藝裝備的領(lǐng)先企業(yè)。公司總部位于北京市通州區(qū)光機電一體化產(chǎn)業(yè)基地，在長沙設(shè)有分公司。公司產(chǎn)品聚焦集成電路主要應(yīng)用領(lǐng)域，兼顧化合物半導(dǎo)體、材料加工制備等領(lǐng)域，形成中束流、大束流、高能機、定制機、化合物半導(dǎo)體等系列化離子注入機產(chǎn)品體系。CI P系列中束流離子注入機、CI C系列大束流離子注入機已有20余臺進入國內(nèi)最先進的極大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線，12英寸晶圓量產(chǎn)超500萬片，工藝段覆蓋至28nm，定制注入機和化合物半導(dǎo)體注入機出貨幾十臺公司離子注入機團隊近300人，碩士以上學(xué)歷占38%。公司已申請近395項發(fā)明專利，獲得授權(quán)68項,具備高新技術(shù)企業(yè)、博士后科研工作站等資質(zhì)。北京爍科中科信電子裝備有限公司是國內(nèi)唯一一家產(chǎn)品門類齊全，集研發(fā)、制造、服務(wù)于一體的集成電路領(lǐng)域離子注入機供應(yīng)商，公司的目標是將來成為國際一流的集成電路裝備供應(yīng)商和服務(wù)商。